4. 負イオンの生成および消滅過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展

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概要

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• Negative ions strongly affect the transport and chemical reactions in fluorocarbon plasmas. In this article, a review is given of elementary processes concerning negative ions in fluorocarbon plasmas. Typical behaviors of negative fluorine ions in low-density and high-density plasmas are briefly described.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 1999-07-25

著者

• 河野 明廣

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 佐々木 浩一

  名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 門田 清

  名古屋大学大学院工学研究科

• 門田 清

  名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 門田 清

  名古屋大学プラズマ科学センター

• 佐々木 浩一

  名大工

• 佐々木 浩一

  名古屋大学

• 河野 明廣

  名古屋大学

• 河野 明廣

  名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 河野 明廣

  名古屋大学 先端技術協同研究センター

• 門田 清

  名古屋大学フラスマ研究所

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