1.2 最新レーザー技術を用いたプロセスプラズマ診断(1.プラズマ研究の発展に寄与する最新レーザー技術,最新レーザーとプラズマ研究)
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概要
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レーザーを光源とする分光学的プラズマ診断技術は,材料プロセシングで用いられる反応性プラズマの基礎研究において重要な役割を果たしている.本稿では,レーザー応用反応性プラズマ診断技術において,比較的新しいレーザー技術の利用により得られた最近の進歩について解説する.半導体レーザー技術の進歩は反応性プラズマ診断に低コスト化と利便性をもたらしている.また,最近,フェムト秒レーザーを利用した新しい吸収分光計測技術が開発された.その他に,真空紫外波長可変レーザーおよびテラヘルツ波を用いた反応性プラズマ診断技術を紹介する.
- 2007-06-25
著者
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佐々木 浩一
名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻
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佐々木 浩一
名古屋大学大学院 工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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佐々木 浩一
名古屋大学
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佐々木 浩一
名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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佐々木 浩一
名古屋大 大学院工学研究科 プラズマナノ工学研究セ
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