レーザーアブレーションチタンプラズマのレーザー誘起蛍光分光計測

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• Densities of Ti, Ti^+ and TiO were measured by laser-induced fluorescence spectroscopy in plasmas produced by laser ablution of a Ti target in He and O_2 atmosphere. It has been shown that oxidation of Ti and Ti^+ in the gas phase is significant in O_2 atmosphere. In addition, it has been shown that direct production of TiO from the target, that is oxidized considerably during ablution, is an important process. The oxidation of the Ti target has been confirmed by SEM-EDS analysis.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2000-11-25

著者

• 佐々木 浩一

  名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 門田 清

  名古屋大学大学院工学研究科

• 門田 清

  名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 門田 清

  名古屋大学プラズマ科学センター

• 佐々木 浩一

  名大工

• 佐々木 浩一

  名古屋大学

• 松井 真也

  名古屋大学大学院工学研究科

• 若崎 環樹

  名古屋大学大学院工学研究科

• 門田 清

  名古屋大学フラスマ研究所

関連論文

• 29p-L-10 磁場閉じ込めプラズマにおける局所磁場測定の高速化
• 29a-L-12 高速Li^ビームプローブ分光法によるプラズマ診断 II
• 29a-N-2 TEXTORの周辺プラズマの電子密度揺動測定
• 27a-N-5 中性リチウムビームプローブ分光によるRFCプラズマの電子密度計測
• 1a-K-2 中性リチウムビームプローブ法による密度揺動の測定
• 5a-H-7 レーザー薄膜蒸発法で生成された中性粒子ビームによる電子密度分布測定
• 4p-RC-2 中性リチウムビームプローブ分光法によるNBTプラズマの内部磁場測定
• 28pB21P 高感度プラズマシース電界測定のためのArレーザーシュタルク分光計測(プラズマ基礎・応用、計測)
• 25pB02 アルゴンをプローブ粒子としたレーザー誘起蛍光減光法による超高感度電界計測(プラズマ基礎・応用I)
• 4p-NY-1 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定 VI
• 2p-P-3 バキュームスパーク型イオン源を用いた多価イオン衝突実験
• 4a-NY-10 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定 IV
• 30p-W-9 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定 III
• 4a-N-3 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定 II
• 30p-Y-3 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定
• 27aC19P 真空中でのレーザーアブレーションによる巨大炭素クラスターの生成機構の考察(プラズマ基礎・応用)
• 高温プラズマ診断のためのZ=22〜30に於けるHe様共鳴線の遷移エネルギ- (「高密度プラズマの物理と計測」研究会報告) -- (原子過程,デ-タ処理)
• 30pA15P 高密度水素プラズマにおける相互中性化反応過程(プラズマ計測)
• スパッタリングプラズマの高精度解析 : レーザー誘起蛍光法によるプラズマ診断
• レーザーアブレーションの実験技術 : 計測技術を中心として
• エレクトロニクスとプラズマ (ナノテクとプラズマ)
• 1 反応性プラズマのレーザー分光計測(プラズマの基礎・応用研究最前線(中部地区若手・中堅研究者の挑戦))
• 1 Introductory Talk : 拡大するレーザーアブレーション研究とその応用(シンポジウムVI : レーザーアブレーションプラズマの基礎と応用)
• 27p-Y-4 能動的分光法によるHYBTOK-IIトカマク密度分布計測
• 4p-RC-3 レーザー薄膜蒸発法で生成された中性粒子ビームによるプラズマ診断
• レーザーアブレーションにおけるナノ粒子成長過程の時間分解計測
• 1.2 最新レーザー技術を用いたプロセスプラズマ診断(1.プラズマ研究の発展に寄与する最新レーザー技術,最新レーザーとプラズマ研究)
• 22aZB-7 レーザー応用プラズマ分光法(22aZB 領域2シンポジウム:可視・近紫外プラズマ分光〜核融合と基礎プラズマを診る〜,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 分光学的方法によるプラズマ診断
• 名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
• 銅イオンプロセス用ドロップレットフリープラズマ源の開発
• プラズマ科学の将来展望
• 12pXB-6 2 次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションプルームの可視化(主題 高密度プラスマ放射光源の高性能化と関連物理, 領域 2)
• 12pXB-6 2 次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションブルームの可視化(主題 : 高密度プラズマ放射光源の高性能化と関連物理, 領域 9)
• 4p-E6-2 JIPPT-IIUに於けるNBIビームプローブ分光計測(IV)
• ヘリコン波酸素プラズマ中正負イオンの時間分解分析
• 2p-S-2 希ガス再結合プラズマの生成と励起状態原子の占有密度分布
• 2a-TF-3 再結合ネオンプラズマにおける励起状態原子の占有密度分布
• 5a-J-6 計測用ビームを用いた周辺プラズマ密度計測
• ビ-ムプロ-ブおよびレ-ザ-誘起蛍光法を用いたプラズマ診断
• 5a-H-11 アルゴンエキシマレーザを用いた炭素原子密度測定
• 30p-W-8 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定(V)
• 増幅および注入ロック用小形D_2Oレーザの単一モード発振
• パワー変調レーザービームにより励起された静電波動の振幅に関する理論および計算機シミュレーションによる検討
• 長パルスパワ-変調TEA CO2レ-ザ-システムの開発
• 6p-F6-10 TEA CO_2レーザーにおける注入ロックによる2モード同時発振の動作解析
• 注入ロックモ-ドビ-ト法によるTEA CO2レ-ザ-光のパワ-変調の安定化
• 31a-F-9 JIPP・T-IIにおける中性粒子分布測定
• 4p-NY-10 真空スパークのX線分光
• 25pA10 飛行時間型質量分析法による高密度重水素プラズマの正イオン組成診断(ヘリカル/計測)
• 27p-Y2-8 JIPPT-IIUに於けるNBIビームプローブ分光計測(II)
• 13a-DJ-9 中性リチウムビームプローブ分光法によるプラズマの内部磁場測定
• 13a-DJ-8 中性粒子ビームプローブ分光法による高温プラズマ診断
• 分光を利用したビ-ムプロ-ブ法による高温プラズマ診断
• 29aB14 レーザー脱離飛行時間型質量分析法によるプラズマ容器内堆積膜の化学組成分析(プラズマ計画)
• 28pB22P C_4F_8プラズマ中におけるC_2ラジカルおよびC_3ラジカルの絶対密度空間分布(プラズマ基礎・応用、計測)
• 28pB20P ストリーマコロナ放電中におけるNOおよびNO_2密度のレーザー誘起蛍光法によるその場測定(プラズマ基礎・応用、計測)
• 28pB19P レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーション炭素プラズマ中のC_2回転温度分布測定(プラズマ基礎・応用、計測)
• 28pB18P 2次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションプルームと雰囲気ガスとの相互作用の画像診断(プラズマ基礎・応用、計測)
• 28pB17P レーザーアブレーションTiプラズマにおけるTi,Ti^+,TiOの密度分布のレーザー誘起蛍光画像計測(プラズマ基礎・応用、計測)
• 27aC21P 水素プラズマ・炭素材壁相互作用により生成されたCHラジカルの計測(プラズマ基礎・応用)
• 27aC20P ヘリコン波水素プラズマの電子および水素原子温度測定(プラズマ基礎・応用)
• 26pA06 ヘリコン波高密度水素プラズマのアフターグローにおける再結合発光の時間変化(プラズマ基礎・応用II)
• 2次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションプラズマの可視化画像診断(画像変換技術)
• 2次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションプラズマの可視化画像診断
• 30pA29P 高密度水素プラズマ中の水素原子温度測定(プラズマ計測)
• レーザーアブレーションチタンプラズマのレーザー誘起蛍光分光計測
• 4. 負イオンの生成および消滅過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
• レーザーアブレーション炭素およびシリコンプルームの光イオン化計測
• 反応性プラズマ計測用加熱プローブの開発
• 2a-YQ-11 高密度プラズマ中における正・負水素イオンの相互中性化反応による再結合放射
• 酸素プラズマ中における準安定励起分子への解離性電子付着
• 13p-L-10 HYBTOK-IIトカマクにおけるリミターバイアス時の周辺密度分布挙動
• レ-ザ-・ブロ-オフ中性Liビ-ムプロ-ブ法に関する数値解析
• 磁場核融合装置における粒子ビ-ムプロ-ブ計測
• 3.計測とモデリング : 3.1負イオンの計測 : 負イオンを見直そう(負イオン特集)
• 日本分光学会, 測定法シリーズ 29, 山本学・村山精一 著, プラズマの分光計測, 学会出版センター, A5版, 285頁, 1995年1月, 3,900円
• ビ-ムプロ-ブ分光法による高温プラズマ診断--TEXTOR周辺プラズマ診断への適用計画 (昭和57年度プラズマ研究共同研究会「高温プラズマ・壁相互作用に於けるレ-ザ-分光法」ならびに「高温・高密度プラズマからのスペクトル線の構造と原子過程」に関する研究会)
• TEXTORの現状 (昭和57年度プラズマ研究共同研究会「高温プラズマ・壁相互作用に於けるレ-ザ-分光法」ならびに「高温・高密度プラズマからのスペクトル線の構造と原子過程」に関する研究会)
• 28aB51P 半導体レーザー吸収分光法によるダイバータシミュレータ中の水素原子温度計測(計測)
• 3a-N-3 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定(IV)
• 30p-Y-9 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定 III
• 30a-Y-13 中性リチウムビームプローブによるバンピートーラスプラズマの電子密度分布測定 II
• 炭素材料への高密度水素プラズマ照射によるラジカルおよび微粒子の生成とその機構
• 25pA43P 高密度水素プラズマ・炭素材料相互作用に関する基礎実験(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 25pA14P ヘリコン波放電型コンパクトダイバータシミュレータにおける水素原子の加熱機構(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 26aB38P ヘリコン波放電型ダイバータシュミレータを用いた高密度水素プラズマ・炭素材料相互作用実験(プラズマ基礎・応用)
• 炭酸ガスレーザー用高速プラズマ・シャッターの試作
• 飛行時間型質量分析法によるCF_4プラズマの診断
• 大出力光励起385μm-D2Oレ-ザ-のフ-リエ展開法による動作解析
• 31a-TH-8 パワー変調されたレーザービームによるプラズマ波動の励起
• 30p-Y-13 トカマクプラズマに於る不純物のふるまい
• 熱放出型リチウムイオン源
• 分光を利用したビームプローブ法による高温プラズマ診断
• 4a-NY-6 ビームプローブ分光法によるプラズマ中の磁場測定
• 30p-W-11 ファブリペロー干渉計による中性粒子温度測定
• 30p-W-10 結晶分光器によるX線分光計測法の開発(III)
• 3a-N-7 結晶分光器によるX線分光計測法の開発(II)
• 30a-Y-3 結晶分光器によるX線分光計測法の開発 I
• 5.粒子線計測法

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク