ヘリコン波酸素プラズマ中正負イオンの時間分解分析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
低圧力高密度酸素プラズマ(密度n=10^10>-10^13>cm^-3>)が、新しく開発されたヘリコン波酸素放電装置によって生成された。放電用RFパワーは0.1-5kW(周波数f=10-14MHz)である。プラズマ中正負の酸素原子イオン、分子イオンは飛行時間型質量分析器によって測定された。その結果、O^+イオンとO_2^+イオンの密度比はプラズマ密度と共に増加することが分かった。(n=10^10>-2×10^12>cm^-3>)。また、n=8×10^12>cm^-3>の時、イオン密度比は約4となった。RFパワーをパルス変調すると、アフターグローで酸素負イオンが効率的に生成した。O^-イオンの最大密度はRF(0.9kW)を切った後約30μsecで最大となり、約3×10^11>cm^-3>であった。また、その寿命は約60μsecであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-29
著者
-
庄司 多津男
名古屋大学大学院工学研究科
-
庄司 多津男
名古屋大工
-
門田 清
名古屋大学大学院工学研究科
-
門田 清
名古屋大学プラズマ科学センター
-
三重野 哲
静岡大学理学部物理学科
-
加茂 俊洋
名古屋大学プラズマ科学センター
-
Mieno T
Department Of Physics Faculty Of Science Shizuoka University
-
三重野 哲
静岡大学理学部
-
門田 清
名古屋大学フラスマ研究所
-
庄司 多津男
名古屋大学 工学研究科エネルギー理工学専攻
関連論文
- 4.2 高速イオン励起MHD不安定性とそれらによる高速イオン輸送(4.燃焼プラズマの物理,プラズマ燃焼実験のための先進計測)
- 29p-L-10 磁場閉じ込めプラズマにおける局所磁場測定の高速化
- 29a-L-12 高速Li^ビームプローブ分光法によるプラズマ診断 II
- 29a-N-2 TEXTORの周辺プラズマの電子密度揺動測定
- 27a-N-5 中性リチウムビームプローブ分光によるRFCプラズマの電子密度計測
- 1a-K-2 中性リチウムビームプローブ法による密度揺動の測定
- 5a-H-7 レーザー薄膜蒸発法で生成された中性粒子ビームによる電子密度分布測定
- 4p-RC-2 中性リチウムビームプローブ分光法によるNBTプラズマの内部磁場測定
- 28aA18P 四重極トラップに閉じ込められた帯電微粒子を用いた一成分プラズマの研究(慣性核融合、プラズマ基礎・応用)
- 26pA01 HF/VHF帯の高周波を用いた遅波とヘリコン波によるプラズマ生成(プラズマ基礎・応用II)
- トロイダルRFイオントラップ中でバッファガス冷却された一成分プラズマのレーザー誘起蛍光法を用いた測定
- トロイダルRFイオントラップ中のイオンの閉じ込め時間測定
- 3.先進的な熱・粒子輸送制御 : 高周波リミタおよび選択的ヘリウム排気の実験(粒子・熱制御とプラズマ対向材料研究の進展 : IEA/TEXTOR共同研究の成果と現状)
- 27pA15P 高周波放電を用いたシート状イオン源の開発(プラズマ基礎・応用)
- 低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径誘導結合RFプラズマ生成
- ヘリコン波とその反応性プラズマへの応用
- 2. ヘリコン波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 II
- 29a-YB-8 アンテナ領域におけるヘリコンプラズマの特性(II)
- 29a-YB-7 アンテナ領域におけるヘリコンプラズマの特性(I)
- 29pTK-4 荷電微粒子のACトラップにおける揺らぎの実験的・数値的研究2(29pTK その他の力学系,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- 4p-NY-1 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定 VI
- 2p-P-3 バキュームスパーク型イオン源を用いた多価イオン衝突実験
- 4a-NY-10 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定 IV
- 30p-W-9 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定 III
- 4a-N-3 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定 II
- 30p-Y-3 真空スパーク型多価イオン源による電荷移動断面積の測定
- 高温プラズマ診断のためのZ=22〜30に於けるHe様共鳴線の遷移エネルギ- (「高密度プラズマの物理と計測」研究会報告) -- (原子過程,デ-タ処理)
- 無重力下での炭素クラスター合成(ナノチューブ, フラーレン, 炭素カプセル)
- 30pA15P 高密度水素プラズマにおける相互中性化反応過程(プラズマ計測)
- 27pA02P 一成分プラズマのトーラス型磁場配位閉じ込め(プラズマ基礎・応用)
- 27p-Y-4 能動的分光法によるHYBTOK-IIトカマク密度分布計測
- 4p-RC-3 レーザー薄膜蒸発法で生成された中性粒子ビームによるプラズマ診断
- 26pQD-13 ACトラップ中の帯電微粒子群のシミュレーション(その他の力学系,領域11,統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理)
- 4p-E6-2 JIPPT-IIUに於けるNBIビームプローブ分光計測(IV)
- 小型サイクロトロン共鳴質量分析器を用いた2T強磁化プラズマ中イオン種の測定
- サイクロトロン共鳴質量分析器を用いた炭化水素不純物発生の測定
- ヘリコン波酸素プラズマ中正負イオンの時間分解分析
- 27p-ZA-8 RFサイクロトロン共鳴による磁化プラズマ中イオンの質量分析
- 26p-E-11 RFサイクロトロン共鳴によるリチウム同位体分析
- 2p-S-2 希ガス再結合プラズマの生成と励起状態原子の占有密度分布
- 2a-TF-3 再結合ネオンプラズマにおける励起状態原子の占有密度分布
- 5a-J-5 高周波電場を用いたリミターの実験
- 5a-J-6 計測用ビームを用いた周辺プラズマ密度計測
- ビ-ムプロ-ブおよびレ-ザ-誘起蛍光法を用いたプラズマ診断
- 二酸化炭素排出量の計算による核融合炉の環境負荷評価
- 5a-H-11 アルゴンエキシマレーザを用いた炭素原子密度測定
- 30p-W-8 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定(V)
- 閉鎖容器中のアーク放電によるバックミンスターフラーレン(C_,C_)の合成と結晶成長
- 20pTD-5 フラーレン合成用J×Bガスアークの熱流束測定
- 31a-F-9 JIPP・T-IIにおける中性粒子分布測定
- 4p-NY-10 真空スパークのX線分光
- 25pA10 飛行時間型質量分析法による高密度重水素プラズマの正イオン組成診断(ヘリカル/計測)
- 27p-Y2-8 JIPPT-IIUに於けるNBIビームプローブ分光計測(II)
- 13a-DJ-9 中性リチウムビームプローブ分光法によるプラズマの内部磁場測定
- 13a-DJ-8 中性粒子ビームプローブ分光法による高温プラズマ診断
- 分光を利用したビ-ムプロ-ブ法による高温プラズマ診断
- 2次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションプラズマの可視化画像診断(画像変換技術)
- 2次元レーザー誘起蛍光法によるレーザーアブレーションプラズマの可視化画像診断
- レーザーアブレーションチタンプラズマのレーザー誘起蛍光分光計測
- 4. 負イオンの生成および消滅過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- レーザーアブレーション炭素およびシリコンプルームの光イオン化計測
- 反応性プラズマ計測用加熱プローブの開発
- 酸素プラズマ中における準安定励起分子への解離性電子付着
- 13p-L-10 HYBTOK-IIトカマクにおけるリミターバイアス時の周辺密度分布挙動
- レ-ザ-・ブロ-オフ中性Liビ-ムプロ-ブ法に関する数値解析
- 磁場核融合装置における粒子ビ-ムプロ-ブ計測
- 3.計測とモデリング : 3.1負イオンの計測 : 負イオンを見直そう(負イオン特集)
- 日本分光学会, 測定法シリーズ 29, 山本学・村山精一 著, プラズマの分光計測, 学会出版センター, A5版, 285頁, 1995年1月, 3,900円
- ビ-ムプロ-ブ分光法による高温プラズマ診断--TEXTOR周辺プラズマ診断への適用計画 (昭和57年度プラズマ研究共同研究会「高温プラズマ・壁相互作用に於けるレ-ザ-分光法」ならびに「高温・高密度プラズマからのスペクトル線の構造と原子過程」に関する研究会)
- TEXTORの現状 (昭和57年度プラズマ研究共同研究会「高温プラズマ・壁相互作用に於けるレ-ザ-分光法」ならびに「高温・高密度プラズマからのスペクトル線の構造と原子過程」に関する研究会)
- 6. 無対流アーク放電による炭素クラスター合成(微小重力環境を利用したプラズマプロセスへの誘い)
- 1. はじめに(微小重力環境を利用したプラズマプロセスへの誘い)
- J×Bアーク法を用いたC_60合成におけるパラメーター依存性
- 6p-YN-1 円柱状プラズマ中磁場による負イオン生成の局在化とそのプローブ測定
- フラーレン合成用無重力ガスアーク放電の流体計算
- 弾道飛行による無重力ガスアークを用いたフラーレン類合成実験
- リボルバー導入型J×Bアーク合成装置を用いたフラーレン類の合成
- チップ導入型J×Bアーク合成装置を用いた廃材・植物原料からのフラーレン合成
- 3a-N-3 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定(IV)
- 30p-Y-9 色素レーザーを用いたプラズマ中の励起原子密度測定 III
- 30a-Y-13 中性リチウムビームプローブによるバンピートーラスプラズマの電子密度分布測定 II
- 飛行時間型質量分析法によるCF_4プラズマの診断
- 30p-Y-13 トカマクプラズマに於る不純物のふるまい
- 放電フィラメントのパターン形成
- 熱放出型リチウムイオン源
- 分光を利用したビームプローブ法による高温プラズマ診断
- 4a-NY-6 ビームプローブ分光法によるプラズマ中の磁場測定
- 30p-W-11 ファブリペロー干渉計による中性粒子温度測定
- 低インダクタンス内部アンテナ方式ICP源によるポリシリコン薄膜の合成
- 30p-W-10 結晶分光器によるX線分光計測法の開発(III)
- 3a-N-7 結晶分光器によるX線分光計測法の開発(II)
- 30a-Y-3 結晶分光器によるX線分光計測法の開発 I
- 5.粒子線計測法
- ACトラップにおける少数帯電微粒子の配置構造
- ACトラップ中の帯電粒子の運動の統計的振る舞い
- 1.はじめに(カオスと同期現象の科学-プラズマ科学の新しい視点-)
- 5.帯電粒子・プラズマ系における同期現象と構造形成(カオスと同期現象の科学-プラズマ科学の新しい視点-)
- 様々なプラズマ、帯電微粒子群における形と運動の非線形現象
- 二酸化炭素排出量の計算による核融合炉の環境負荷評価
- はじめに