4. マイクロプラズマの応用(<小特集>ミクロ反応場の生成と応用-マイクロプラズマ研究の現状と将来展望-)

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概要

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• In addition to generation and diagnostics of microplasma, application studies of microplasmas have been performed intensively. Based on the unique characteristics of microplasmas, such as an extraordinary locality and highdensity, developments of various new application technologies are in progress. Those include, e.g., novel materials processing, biomaterials treatment, chemical analysis, light sources of ultra-short wavelengths, three-dimensional micromachining tools and other functional plasma devices. In this chapter, an overview of our studies mentioned above on the applications will be introduced.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2004-10-25

著者

• 寺嶋 和夫

  東京大学大学院新領域創成科学研究科

• 荒巻 光利

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 河野 明廣

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 荒巻 光利

  名大工

• 河野 明廣

  名大工

• 一木 隆範

  東京大学大学院工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻

• 一木 隆範

  東洋大学・工

• 寺嶋 和夫

  東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻

• 伊藤 剛仁

  東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系

• 藤原 秀行

  東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系

• 片平 研

  東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系

• 王 剣亮

  名古屋大学工学研究科電子情報システム専攻

• 河野 明廣

  名古屋大学

• 一木 隆範

  東京大学大学院

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