2.直流および交流プラズマ(<小特集>超臨界流体中プラズマの基礎と応用)

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概要

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• "超臨界流体プラズマ"は,超臨界流体特有の分子クラスタリングや臨界点近傍での密度揺らぎを伴った新規プラズマ反応場を提供するものとして期待されており,近年新領域のプラズマ物理・化学現象を開拓しつつある.本章では我々の研究成果を中心に,(1)直流プラズマの放電開始特性,および,(2)交流プラズマの発生,診断,および,材料プロセスへの応用について紹介する.

• 2010-06-25

著者

• 宮副 裕之

  東京大学大学院新領域創成科学研究科

• シュタウス スヴェン

  東京大学大学院新領域創成科学研究科

• 寺嶋 和夫

  東京大学大学院新領域創成科学研究科

• 寺嶋 和夫

  東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻

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