8.マイクロメータからナノメータ領域のプラズマ生成とその材料科学への応用(<小特集>マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
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概要
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In this report, promising features of micro-/nanometer-scale plasma are described. Especially, the possibilities of unique phenomena in the nanometer range such as the quantum effect, wich could never occur in the macroscopic world, are demonstrated. Based on our research, plasma generation with coplanar film electrodes, its characterization, and its first application to materials science of the microscale plasma are introduced. As an example of the application to materials sciens, a plasma chip, an innovative material-processing device using microscale plasmas, is also proposed.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-05-25
著者
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