河野 明廣 | 名古屋大

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概要

• 同名の論文著者
• 名古屋大の論文著者

関連著者

• 河野 明廣

  名古屋大学

• 河野 明廣

  名古屋大

• 河野 明廣

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 後藤 俊夫

  名古屋大学 工学研究科量子工学専攻

• 後藤 俊夫

  名古屋大学

• 後藤 俊夫

  Imram Tohoku University

• 後藤 俊夫

  名古屋大学化学科

• 堀 勝

  名古屋大学

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 内田 悦行

  愛知工業大学工学部電気学科

• 石井 信雄

  東京エレクトロン(株)

• 永井 伸治

  名古屋大学

• 内田 悦行

  愛知工業大学

• 石井 信雄

  東京エレクトロン

• 古橋 秀夫

  愛知工業大学情報通信工学専攻

• 石井 信雄

  東エレ

• 古橋 秀夫

  愛知工業大学 電気学科 情報通信工学専攻

• 中村 成志

  名古屋大学工学研究科

• 伊藤 昌文

  名古屋大学工学研究科

• 古橋 秀夫

  愛知工大

• Goto Takaaki

  Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• Ishii Nobuo

  Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan

• Ishii Nobuo

  Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Limited, Hosaka-cho, Nirasaki 407-01, Japan

• 高島 成剛

  名古屋大学

• 中山 博貴

  名古屋大学工学研究科

• 後藤 俊夫

  名古屋大農学部

• 中谷 圭吾

  名古屋大学

• 坂井 正宏

  名古屋大学

• 高島 成剛

  (財)名古屋都市産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター

• 広瀬 敏

  名古屋大

• 小西 雅人

  名古屋大学

• 後藤 俊夫

  名古屋大学大学院工学研究科

• 秋本 圭一

  名古屋大

• 野村 秀次

  名古屋大学

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著作論文

• ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
• CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
• 微弱スぺクトルの高S/N比計測のための高効率2次元光子計数処理
• CARSによるArFエキシマレーザー放電中のF_2密度測定
• 放電励起ArFレーザプラズマ中の電子密度計測
• 6.マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光計測(マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
• 鏡間に誘電体板が挿入されたファブリーペロー共振器の共振特性
• RF SiH4/SiH2Cl2混合ガスプラズマの電子密度及びラジカル計測
• RF SiH_4プラズマ中の電子密度・温度に対する希釈ガスXe, Ar, He, H_2の効果

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