堀 勝 | 名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
堀 勝
名古屋大学
-
Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
-
後藤 俊夫
Imram Tohoku University
-
Hori Masaru
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
平松 美根男
名城大学理工学部電気電子工学科
-
Goto Takaaki
Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Hori Masaru
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ
-
Ikeda M
Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn
-
伊藤 昌文
名城大学理工学部
-
GOTO Toshio
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Goto T
Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University
-
Goto Toshio
Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University
-
Goto Toshio
Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University
-
後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
-
後藤 俊夫
名古屋大学化学科
-
加納 浩之
Nuエコ・エンジニアリング
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
-
ITO Masafumi
Department of Pathology, Japanese Red Cross Nagoya Daiichi Hospital
-
太田 貴之
和歌山大学システム工学部
-
加納 浩之
Nuエコ・エンジニアリング株式会社
-
Ito Masafumi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Science And Technology Meijo Universi
-
太田 貴之
和歌山大学
-
東島 康裕
NUシステム
-
東島 康裕
Nuシステム株式会社
-
平松 美根男
名城大学・理工
-
山川 晃司
片桐エンジニアリング
-
堀 勝
名大院工
-
井関 紗千子
名古屋大学大学院工学研究科
-
高島 成剛
(財)名古屋都市産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター
-
ITO Masafumi
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
TADA Shigekazu
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Sakakibara T
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
河野 明廣
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
伊藤 昌文
和歌山大学
-
高島 成剛
名古屋大学
-
OHTA Takayuki
Department of Quantum Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
ISHIDA Tetsuro
Department of Quantum Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
ISHII Nobuo
Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd.
-
Ishii Nobuo
Corporate R&d Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.
-
Ishida Tetsuro
Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
後藤 俊夫
名古屋大学大学院工学研究科
-
HAMAGAKI Manabu
The Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN)
-
河野 明廣
名古屋大学
-
Ito M
Wakayama Univ. Wakayama Jpn
-
Ikeda M
Toshiba Corp. Kawasaki Jpn
-
Ohta Hiroyuki
Department Of Biological Sciences Graduate School Of Bioscience And Biotechnology Tokyo Institute Of
-
Hamagaki Manabu
The Institute Of Physical And Chemical Research
-
Tsukada T
Tdk Corp. Chiba Jpn
-
河野 明廣
名古屋大
-
Ohta Hiroyuki
Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Hori Masaru
Department Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Ito Masafumi
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
NAKAMURA Masayuki
Department of Medical Simulation Engineering, Research Center for Nano Medical Engineering, Institut
-
井関 紗千子
和歌山大学
-
田子多 直樹
和歌山大学
-
田 昭治
片桐エンジニアリング
-
小林 重人
名古屋大学工学研究科
-
石井 信雄
東京エレクトロン(株)
-
石井 信雄
東京エレクトロン
-
石井 信雄
東エレ
-
Kato Takayoshi
Reseach Institute Of Electronics Shizuoka University
-
SAKAI Akira
Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
中村 成志
名古屋大学工学研究科
-
Ishikawa Masayuki
Department of Applied Bioscience, Faculty of Agriculture, Hokkaido University
-
HORI Masaru
Department of Electrical Engineering and Computer Science, School of Engineering, Nagoya University
-
近藤 博基
名古屋大学大学院工学研究科
-
Ikeda Makoto
Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Hori Masaru
Department Of Electrical Engineering And Computer Science School Of Engineering Nagoya University
-
Ito Haruhiko
Nagoya Municipal Industrial Research Institute
-
Ito Haruhiko
Nagoya Municipal Industrial Res. Inst.
-
FAVIA Pietro
バリ大学
-
HIRAMATSU Mineo
Nano Factory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University
-
Ikeda M
Sony Corporation Research Center
-
Kato T
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
藤田 和司
名古屋大学工学研究科
-
Kato Takayoshi
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
NAGAI Mikio
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
YAMAKAWA Koji
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
KAWAKAMI Satoru
Tokyo Electron AT Ltd.
-
竹田 圭吾
和歌山大学大学院システム工学研究科
-
Koshikawa Takanori
Fundamental Electronics Research Institute Academic Frontier Promotion Center Osaka Electro-communic
-
Kato T
Ashikaga Inst. Technol. Tochigi
-
Kato T
Optoelectronics Technology Research Lab. Ibaraki
-
TAKEO Takashi
Nagoya Municipal Industrial Research Institute
-
Ishii N
Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.
-
Ohta Takayuki
Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Osaka University
-
Inayoshi Muneto
Department Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
Kato Terumasa
Nagoya Municipal Industrial Research Institute
-
山川 晃司
名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻
-
平松 美根男
ナノファクトリー・名城大学理工学部電気電子工学科
-
Ishikawa M
Joint Research Center For Atom Technology(jrcat) Angstrom Technology Partnership
-
Kondo T
Graduate School Of Science Nagoya University
-
Nakamura M
Research Institute For Electronic Science Hokkaido University
-
Nagashima Atsushi
Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Nagashima Atsushi
Department Of Digestive Surgery And Surgical Oncology (surgery Ii) Yamaguchi University Graduate Sch
-
岩田 義幸
イビデン(株)
-
坂本 一
イビデン(株)
-
Nakamura Masayuki
Department Of Chemistry Faculty And Graduate School Of Sciences Kyushu University
-
Nakamura Masayuki
Department Of Animal Science Faculty Of Agriculture Tohoku University
-
酒井 朗
名古屋大学工学研究科
-
橘 善洋
和歌山大学
-
山本 桂司
和歌山大学
-
SAMUKAWA Seiji
Institute of Fluid Science, Tohoku University
-
財満 鎭明
名古屋大学大学院工学研究科
-
酒井 彰
室蘭工大工
-
堀邊 英夫
金沢工業大学ものづくり研究所
-
中山 博貴
名古屋大学工学研究科
-
酒井 朗
大阪大学
-
酒井 朗
名古屋大学
-
Yasuda Y
Department Of Crystalline Materials Science Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Yasuda Yukio
Department Of Applied Physics Osaka City University
-
KONDO Hiroki
Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
KAWAAI Keigo
Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
ZAIMA Shigeaki
Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
ZAIMA Shigeaki
Center for Cooperative Research in Advanced Science and Technology, Nagoya University
-
Kondo H
Department Of Biochemical Engineering And Science Kyushu Institute Of Technology
-
Sakai A
Department Of Crystalline Materials Science Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
小川 正毅
名古屋大学
-
堀邊 英夫
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
-
Hori Masaru
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagoya University
-
Kawaai Keigo
Department Of Crystalline Materials Science Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
財満 鎭明
名古屋大学先端技術共同研究センター
-
野澤 陵一
名古屋大学
-
村田 和哉
名古屋大学
-
柏原 雅好
名大
-
丸山 茂敏
名大
-
近藤 真悟
名大
-
Hiramatsu Mineo
Department Of Electrical And Electronic Engineering Meijo University
-
Sakai A
Division Of Electrical And Computer Engineering Yokohama National University
-
近藤 博基
名古屋大学大学院光学研究科
-
Tokuda Yutaka
Department Of Surgery Tokai University School Of Medicine
-
Tokuda Yutaka
Department Of Electrical And Electronics Engineering Aichi Institute Of Technology
-
MATSUSHITA Akio
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Nagai Mikio
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ
-
Matsushita Akio
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
TOMEKAWA Yutaka
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
TAKEDA Keigo
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
IWASAKI Masahiro
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
OHTA Takayuki
Faculty of Systems Engineering, Wakayama University
-
KAWAKAMI Satoshi
Tokyo Electron Tohoku Ltd.
-
Samukawa S
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Samukawa Seiji
Institute Of Fluid Science Tohoku University
-
Samukawa Seiji
Process Development Department Vlsi Development Division Nec Corporation
-
Samukawa Seiji
Vlsi Development Div. Nec Corporation
-
ISEKI Sachiko
Department of Molecular Craniofacial Embryology, Tokyo Medical and Dental University
-
Hori Masaru
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Murata Kazuya
Graduate School Of Science Osaka City University
-
Ohta Takayuki
Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Ishida Tetsuro
Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Kano Hiroyuki
Nu-ecoengineering Co. Ltd.
-
TAKEUCHI Wakana
Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya University
-
URA Masato
Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya University
-
KANO Hiroyuki
NU Eco-Engineering Co., Ltd.
-
後藤 敏夫
名古屋大学工学研究科
-
後藤 俊夫
名大農
-
Teii Kungen
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Sakai A
International Innovation Center Kyoto University
-
堀 勝
NUエコ・エンジニアリング(株)・名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
Kono Akihiro
Center for Cooperative Research in Advanced Science and Technology, Nagoya University
-
Yamada K
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
Ura Masato
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagoya University
-
Teii K
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
-
Kondo Hideo
Institute Of Advanced Material Study Graduate School Of Engineering Sciences And Crest Japan Science
-
Kono A
Nagoya Univ. Nagoya Jpn
-
Kono Akihiro
Center For Cooperative Research In Advanced Science And Technology Nagoya University
-
Takeda Keigo
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ
-
Kondo Hirotomo
Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Sojo University
-
NAKAYAMA Hirotaka
Department of Quantum Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
Tokuda Yutaka
Department Of Breast And Endocrine Surgery Tokai University School Of Medicine
-
Yamakawa K
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
Hashizume Hiroshi
Deparment Of Chemistry Shizuoka University
-
Nakamura M
Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
MIZUTANI Yuko
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
IWASAKA Emi
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
TAKASHIMA Seigou
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
GOTO Toshio
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
TSUKADA Tsutomu
Semiconductor Equipment Division, Anelva Corporation
-
TAKASHIMA Seigou
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Nakayama Hirotaka
Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Kondo H
Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Sojo University
-
Murata Kazuya
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
上飯坂 純
名古屋大学・工学研究科
-
平松 美根男
名城大理工
-
Nagai Mikio
Department Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Iwasaka Emi
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Mizutani Yuko
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
MORIOKA Reiji
Department of Quantum Engineering, School of Engineering, Nagoya University
-
Takeuchi Wakana
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagoya University
-
Ishikawa Kenji
Department Of Materials Science And Engineering Nagoya Institute Of Technology
-
乾 裕俊
名古屋大学 大学院工学研究科
-
井上 真里
和歌山大学
-
財満 鎭明
名古屋大学
-
Goto Toshio
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Goto Toshio
Department Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Morioka Reiji
Department Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
堀邊 英夫
金沢工大・ものづくり研究所
-
河野 昭彦
金沢工業大学
著作論文
- 9. フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌機構に関する考察
- マイクロホローカソードプラズマを用いた金属原子密度測定のための吸収分光用光源の開発
- 非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌メカニズムの検証
- プラズマCVDを用いたカーボンナノウォールの成長(有機結晶の新展開)
- ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
- CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
- Growth and Energy Bandgap Formation of Silicon Nitride Films in Radical Nitridation
- シリコン表面の窒化初期過程とエネルギーバンドギャップの形成
- 低温多結晶シリコン薄膜の成長表面の評価
- プラズマエレクトロニクス分科会
- プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成
- 非平衡大気圧プラズマを用いた柑橘ミドリカビ胞子殺菌手法 : 殺菌要因の検討(有機材料,一般)
- プラズマ技術とバイオアプリケーション--非平衡大気圧プラズマのミドリカビ殺菌への応用 (特集 生体触媒研究の新潮流)
- ラジカル制御プラズマとその応用
- 大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の高速加工
- プラズマ中のラジカル制御によるカーボンナノウォールの合成
- 21409 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの高速成長及び表面積制御(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21408 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの成長メカニズム(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 高密度プラズマプロセッシングの現状と将来展望(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成
- カーボンナノウォールを用いた新機能デバイスの開発
- カーボンナノウォールの超精密形成と機能デバイスへの応用
- 科学解説 ラジカル制御CVD法によるカーボンナノウォールの成長
- Fabrication of Carbon Nanowalls Using Novel Plasma Processing
- アドバンストテクノロジー開発最前線 新規エッチングガスを用いた半導体微細加工プロセス
- Growth of Carbon Nanotubes by Microwave-excited Non-Equilibrium Atmospheric-Pressure Plasma
- Study on the Absolute Density and Translational Temperature of Si Atoms in Very High Frequency Capacitively Coupled SiH_4 Plasma with Ar, N_2, and H_2 Dilution Gases
- A Novel Silicon-Dioxide Etching Process Employing Pulse-Modulated Electron-Beam-Excited Plasma
- Effects of Ar Dilution and Exciting Frequency on Absolute Density and Translational Temperature of Si Atom in Very High Frequency-Capacitively Coupled SiH_4 Plasmas
- Effects of Driving Frequency on the Translational Temperature and Absolute Density of Si Atoms in Very High Frequency Capacitively Coupled SiF_4 Plasmas
- Electrical Characterization of Carbon Nanowalls
- レーザーアブレーションを用いた環境調和型チャンバークリーニングプロセス
- レーザーアブレーションを利用した新規ラジカル注入法によるSiO_2/Si選択エッチングプロセスの制御
- High Performance of Silicon Oxide Selective Etching Using F_2 Gas and Graphite Instead of Perfluorinated Compound Gases
- Diamond Deposition and Behavior of Atomic Carbon Species in a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma
- Behaviors of carbon atom density in hydrocarbon and fluorocarbon plasmas
- プラズマ誘起表面科学の魅力
- パルス変調プラズマCVDを用いた配向性ポリシリコン薄膜形成
- マイクロプラズマを光源に用いた真空紫外吸収分光法による原子密度計測
- 赤外半導体レーザー吸収分光による半導体プロセスモニタリング
- 6.マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光計測(マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
- マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の超高速エッチングおよびカーボンナノチューブの形成
- マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速加工技術
- プラズマ化学気相堆積法を用いたカーボンナノウォールの作製
- スマートプラズマプロセス
- 5. RFプラズマCVDによるカーボンナノウォールの配向成長(プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題)
- プラズマ化学気相堆積法を用いたカーボンナノウォールの形成
- カーボンナノウォールの合成と合成装置の実用化開発 (特集 放電学会春季合同シンポジウム「未来を拓く放電技術」) -- (プラズマを用いたナノカーボン創製と応用)
- スマートプラズマナノプロセスの開発 (特集 プラズマ科学の開発と応用)
- ドライエッチング
- Cleaning of Glass Disk in Oxygen Plasma by Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source
- Measurement of Spatial Distribution of SiF_4 and SiF_2 Densities in High Density SiF_4 Plasma Using Single-Path Infrared Diode Laser Absorption Spectroscopy and Laser-Induced Fluorescence Technique
- Spatial Distribution Measurement of Absolute Densities of CF and CF_2 Radicals in a High Density Plasma Reactor Using a Combination of Single-Path Infrared Diode Laser Absorption Spectroscopy and Laser-Induced Fluorescence Technique
- 液中プラズマを用いたナノグラフェンの高速合成技術 (特集 「グラフェン」の実務的な視点での開発トレンド)
- プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの制御合成
- Growth of Preferentially Oriented Microcrystalline Silicon Film Using Pulse-Modulated Ultrahigh-Frequency Plasma
- Deposition of Diamond-Like Carbon Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source
- Investigation of Nitrogen Atoms in Low-Pressure Nitrogen Plasmas Using a Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source
- SR光によるCF_2薄膜およびフロライド金属薄膜の微細加工
- 高密度プラズマとエッチング・薄膜形成への応用
- 6. フルオロカーボンラジカル(CF_x)の表面反応過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- O_2/N_2ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるソルダーレジストとドライフィルムの表面改質
- 開発事例 プラズマCVD法を活用した高品質の配向性多結晶シリコン薄膜形成 (特集 最新 薄膜形成技術と用途展開)
- CLOSE UP 先端に、人 カーボン系ナノ構造体・カーボンナノウォールの量産化に向けた研究開発を推進--名古屋大学大学院 工学研究科 電子情報システム専攻 教授 堀勝
- 暮らし・環境・バイオとプラズマ
- 第71回応用物理学会学術講演会(2010年秋季)
- Synthesis of Fluorinated SiN_x Gate Dielectric Films Using ECR-PECVD Employing SiF_4/N_2/H_2 Gases
- Ultrathin Fluorinated Silicon Nitride Gate Dielectric Films Formed by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Employing NH_3 and SiF_4
- Control of Ion Bombardment and Species for Ultra Low Temperature Formation of Silicon Nitride Gate Dielectric Films Using Plasma Chemical Vapor Deposition
- 複数金属元素同時モニタリング光源を用いた吸収分光法による透明導電膜成膜スパッタリングプロセスの診断
- Inactivation of Penicillium digitatum Spores by a High-Density Ground-State Atomic Oxygen-Radical Source Employing an Atmospheric-Pressure Plasma
- トリフルオロメチルトリフルオロビニルエーテル混合ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるビア底残渣のドライデスミア
- 非平衡大気圧プラズマを用いた柑橘ミドリカビ胞子殺菌手法 : 殺菌要因の検討
- 低コヒーレンス干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度計測
- タングステン加熱触媒体により生成した水素ラジカルによるレジスト用ベースポリマーの分解除去
- VIII-4 カーボンナノウォールの合成と応用(シンポジウムVIII:カーボンプロセスにおけるプラズマ誘起サブサーフェス科学の新展開)