山川 晃司 | 片桐エンジニアリング
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
山川 晃司
片桐エンジニアリング
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
堀 勝
名古屋大学
-
堀 勝
名大院工
-
平松 美根男
名城大学理工学部電気電子工学科
-
Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
-
山川 晃司
名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻
-
平松 美根男
名城大学・理工
-
柏原 雅好
名大
-
丸山 茂敏
名大
-
近藤 真悟
名大
著作論文
- 21409 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの高速成長及び表面積制御(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21408 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの成長メカニズム(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の超高速エッチングおよびカーボンナノチューブの形成
- マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速加工技術