マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の超高速エッチングおよびカーボンナノチューブの形成
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概要
著者
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堀 勝
名古屋大学
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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山川 晃司
片桐エンジニアリング
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
山川 晃司
名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻
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