7. 環境調和型ゼロエミッション・リサイクルナノエッチングプロセスの開発(<小特集>材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
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概要
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地球温暖化防止プロセスの創成を目指した新しい挑戦として,固体ソースを用いたフルオロカーボンガス供給装置を開発し,同供給装置を先端ULSIにおける低誘電率SiOCH膜の高速加工やSiO_2膜堆積プロセス装置のクリーニングプロセスへ応用し,その有効性を実証した.さらに,エッチングプロセスから排出されるフルオロカーボンガスを非平衡大気圧プラズマによって分解・重合させて,微粒子を生成し,その微粒子を用いた超撒水膜の高速コーティングプロセス技術を見出した.これによってプロセスから排出されるフルオロカーボンを固体として他分野にリサイクルするプロセスを示した.これらの成果は,「環境調和型ゼロエミッション・リサイクルプロセス」という新しい科学技術を開拓することが期待される.
- 2007-04-25
著者
-
堀 勝
名古屋大学
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
-
高橋 俊次
(株)片桐エンジニアリング
-
高橋 俊次
(株)片桐エンジニアリング:名古屋大学大学院工学研究科:名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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