複数金属元素同時モニタリング光源を用いた吸収分光法による透明導電膜成膜スパッタリングプロセスの診断
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概要
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- 2009-08-07
著者
-
加納 浩之
Nuエコ・エンジニアリング
-
太田 貴之
和歌山大学
-
東島 康裕
NUシステム
-
堀 勝
名古屋大学
-
田子多 直樹
和歌山大学
-
田 昭治
片桐エンジニアリング
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
伊藤 昌文
名城大学理工学部
-
Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
-
Ikeda M
Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn
-
太田 貴之
和歌山大学システム工学部
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
加納 浩之
Nuエコ・エンジニアリング株式会社
-
東島 康裕
Nuシステム株式会社
-
井上 真里
和歌山大学
-
伊藤 昌文
名城大学
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