ECR SiH_4プラズマ中のSi原子及びイオンの挙動
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概要
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- 1997-03-14
著者
-
堀 勝
名古屋大学
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
-
山本 康雄
名古屋大学
-
後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
-
後藤 俊夫
Imram Tohoku University
-
菅沼 伸志
名古屋大学
-
後藤 俊夫
名古屋大学
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