大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の高速加工
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概要
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- 社団法人表面技術協会の論文
- 2009-06-01
著者
-
堀 勝
名古屋大学
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
高島 成剛
(財)名古屋都市産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター
-
Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
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