Investigation of Nitrogen Atoms in Low-Pressure Nitrogen Plasmas Using a Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source

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概要

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• We developed a new compact electron-beam-excited plasma (EBEP) source with a multihole grid. The source can be reliably operated under low-pressure conditions by controlling the electron-beam current and electron-beam energy independently. In this study, we applied the compact EBEP source to the generation of nitrogen plasma. The absolute nitrogen (N) atom densities in the plasma were evaluated using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy (VUVAS) with a high-pressure microdiseharge hollow cathode (MHCL) as a light source. The electron density and electron temperature were measured using a Langmuir probe. The behavior of N atom densities and electron densities in the plasma are discussed.

• 社団法人応用物理学会の論文
• 2002-07-15

著者

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• Hori Masaru

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• GOTO Toshio

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• Ikeda M

  Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn

• ITO Masafumi

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• Goto T

  Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University

• Goto Takaaki

  Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Hori Masaru

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• HAMAGAKI Manabu

  The Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN)

• TADA Shigekazu

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• Hamagaki Manabu

  The Institute Of Physical And Chemical Research

• Goto Toshio

  Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University

• Sakakibara T

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• TAKASHIMA Seigou

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• 後藤 俊夫

  Imram Tohoku University

• Ito Masafumi

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Goto Toshio

  Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University

• Ito Masafumi

  Faculty of Science and Technology, Meijo University, Nagoya 468-8502, Japan

• GOTO Toshio

  Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Nagoya University

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