Spatial Distribution Measurement of Absolute Densities of CF and CF_2 Radicals in a High Density Plasma Reactor Using a Combination of Single-Path Infrared Diode Laser Absorption Spectroscopy and Laser-Induced Fluorescence Technique

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1999-12-01

著者

• NAKAMURA Masayuki

  Department of Medical Simulation Engineering, Research Center for Nano Medical Engineering, Institut

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• ITO Masafumi

  Department of Pathology, Japanese Red Cross Nagoya Daiichi Hospital

• Hori Masaru

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• GOTO Toshio

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• ISHII Nobuo

  Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd.

• Goto T

  Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University

• Goto Takaaki

  Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Hori Masaru

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• Ishii N

  Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.

• Ishii Nobuo

  Corporate R&d Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.

• Kono Akihiro

  Center for Cooperative Research in Advanced Science and Technology, Nagoya University

• Kono A

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• Kono Akihiro

  Center For Cooperative Research In Advanced Science And Technology Nagoya University

• NAKAYAMA Hirotaka

  Department of Quantum Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University

• Nakamura M

  Research Institute For Electronic Science Hokkaido University

• Ito Masafumi

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Science And Technology Meijo Universi

• Goto Toshio

  Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University

• Nakamura M

  Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Nakayama Hirotaka

  Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• 後藤 俊夫

  Imram Tohoku University

• Nakamura Masayuki

  Department Of Chemistry Faculty And Graduate School Of Sciences Kyushu University

• Goto Toshio

  Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University

• Nakamura Masayuki

  Department Of Animal Science Faculty Of Agriculture Tohoku University

• GOTO Toshio

  Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Nagoya University

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