Effects of Ar Dilution and Exciting Frequency on Absolute Density and Translational Temperature of Si Atom in Very High Frequency-Capacitively Coupled SiH_4 Plasmas

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概要

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• Japan Society of Applied Physicsの論文
• 2004-01-15

著者

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• ITO Masafumi

  Department of Pathology, Japanese Red Cross Nagoya Daiichi Hospital

• Hori Masaru

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• 伊藤 昌文

  名城大学理工学部

• GOTO Toshio

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• OHTA Takayuki

  Department of Quantum Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University

• ISHIDA Tetsuro

  Department of Quantum Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University

• KAWAKAMI Satoru

  Tokyo Electron AT Ltd.

• Goto T

  Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University

• Goto Takaaki

  Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Hori Masaru

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• Ohta Takayuki

  Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Ohta Takayuki

  Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Osaka University

• Ishida Tetsuro

  Department Of Quantum Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Ishida Tetsuro

  Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Ito Masafumi

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Science And Technology Meijo Universi

• Goto Toshio

  Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University

• 後藤 俊夫

  Imram Tohoku University

• Goto Toshio

  Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University

• Ohta Takayuki

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Science And Technology Meijo University

• GOTO Toshio

  Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Nagoya University

• Ohta Takayuki

  Department of Chemistry, Graduate School of Science, The University of Tokyo

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