Growth of Preferentially Oriented Microcrystalline Silicon Film Using Pulse-Modulated Ultrahigh-Frequency Plasma
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概要
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Microcrystalline silicon films were formed on glass substrate at 300℃ using pulse-modulated ultrahigh-frequency plasma, with variation of the pulse duty ratio (10-100%) and the pulse frequency (2-50kHz). We found that the ratio of (111) to (220) crystalline orientation of films can be precisely controlled by changing the duty ratio or frequency. Variation in crystalline orientation closely correlated with the ratio of silicon atom density to hydrogen atom density in the plasma. Strongly preferential (111) growth was achieved, and we propose that the mechanism for this involves the ratio between silicon species and hydrogen atoms in the pulse-modulated plasma.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2001-01-15
著者
-
SAMUKAWA Seiji
Institute of Fluid Science, Tohoku University
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
Goto T
Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University
-
Goto Takaaki
Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Samukawa S
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Samukawa Seiji
Institute Of Fluid Science Tohoku University
-
Samukawa Seiji
Process Development Department Vlsi Development Division Nec Corporation
-
Samukawa Seiji
Vlsi Development Div. Nec Corporation
-
Hori Masaru
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
Murata Kazuya
Graduate School Of Science Osaka City University
-
TADA Shigekazu
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Tsukada T
Tdk Corp. Chiba Jpn
-
MIZUTANI Yuko
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
IWASAKA Emi
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
TAKASHIMA Seigou
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
GOTO Toshio
Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
TSUKADA Tsutomu
Semiconductor Equipment Division, Anelva Corporation
-
Sakakibara T
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
後藤 俊夫
Imram Tohoku University
-
Murata Kazuya
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Iwasaka Emi
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Mizutani Yuko
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Goto Toshio
Graduate School Of Engineering Nagoya University
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