Behaviors of carbon atom density in hydrocarbon and fluorocarbon plasmas

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概要

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• 1997-12-15

著者

• Kato Takayoshi

  Reseach Institute Of Electronics Shizuoka University

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• Ishikawa Masayuki

  Department of Applied Bioscience, Faculty of Agriculture, Hokkaido University

• ITO Masafumi

  Department of Pathology, Japanese Red Cross Nagoya Daiichi Hospital

• Ikeda Makoto

  Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Hori Masaru

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• Ito Haruhiko

  Nagoya Municipal Industrial Research Institute

• Ito Haruhiko

  Nagoya Municipal Industrial Res. Inst.

• Ikeda M

  Sony Corporation Research Center

• Kato T

  Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Kato Takayoshi

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• GOTO Toshio

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• Ikeda M

  Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn

• Goto Takaaki

  Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Koshikawa Takanori

  Fundamental Electronics Research Institute Academic Frontier Promotion Center Osaka Electro-communic

• Hori Masaru

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ

• Kato T

  Ashikaga Inst. Technol. Tochigi

• Kato T

  Optoelectronics Technology Research Lab. Ibaraki

• TAKEO Takashi

  Nagoya Municipal Industrial Research Institute

• Inayoshi Muneto

  Department Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• Kato Terumasa

  Nagoya Municipal Industrial Research Institute

• Ito M

  Wakayama Univ. Wakayama Jpn

• Ikeda M

  Toshiba Corp. Kawasaki Jpn

• Ishikawa M

  Joint Research Center For Atom Technology(jrcat) Angstrom Technology Partnership

• Tsukada T

  Tdk Corp. Chiba Jpn

• Kondo T

  Graduate School Of Science Nagoya University

• Ito Masafumi

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Science And Technology Meijo Universi

• Goto Toshio

  Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University

• 後藤 俊夫

  Imram Tohoku University

• Goto Toshio

  Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University

• GOTO Toshio

  Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Nagoya University

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