Cleaning of Glass Disk in Oxygen Plasma by Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 2002-11-15

著者

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• Hori Masaru

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• GOTO Toshio

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• Ikeda M

  Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn

• ITO Masafumi

  Faculty of System Eng., Wakayama University

• Goto T

  Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University

• Goto Takaaki

  Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology

• Hori Masaru

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• HAMAGAKI Manabu

  The Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN)

• TADA Shigekazu

  Department of Quantum Engineering, Nagoya University

• Hamagaki Manabu

  The Institute Of Physical And Chemical Research

• Goto Toshio

  Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University

• Sakakibara T

  Department Of Quantum Engineering Nagoya University

• 後藤 俊夫

  Imram Tohoku University

• Ito Masafumi

  Faculty Of System Eng. Wakayama University

• Goto Toshio

  Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University

• Ito Masafumi

  Faculty of Science and Technology, Meijo University, Nagoya 468-8502, Japan

• GOTO Toshio

  Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Nagoya University

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