Kinetics of Radicals in CF_4 and C_4F_8 Electron Cyclotron Resonance Plasmas
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概要
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- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 1997-08-15
著者
-
Maruyama Kenji
Telecommunications Advncement Organization Of Japan Sendai Research Center:graduate School Of Materi
-
HORI Masaru
School of Engineering, Nagoya University
-
GOTO Toshio
School of Engineering, Nagoya University
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
MIYATA Koji
School of Engineering, Nagoya University
-
Miyata K
Kobe Steel Ltd. Kobe Jpn
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