竹田 圭吾 | 名古屋大学 大学院工学研究科

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概要

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関連著者

• 堀 勝

  名古屋大学

• 竹田 圭吾

  名古屋大学 大学院工学研究科

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 竹田 圭吾

  和歌山大学大学院システム工学研究科

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• 岩田 義幸

  イビデン(株)

• 坂本 一

  イビデン(株)

• 竹田 圭吾

  名古屋大学大学院工学研究科

• 伊藤 昌文

  名城大学理工学部

• Ikeda M

  Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn

• 太田 貴之

  和歌山大学システム工学部

• 伊藤 昌文

  名城大学

• 太田 貴之

  名城大学

• 加藤 寛人

  名城大学

• 堤 隆嘉

  名古屋大学

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著作論文

• トリフルオロメチルトリフルオロビニルエーテル混合ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるビア底残渣のドライデスミア
• 低コヒーレンス干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度計測
• Dry De-smear of Via Bottom Residue Using 60 Hz Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma with Trifluoromethyle Trifluorovinyl Ether Mixing Gas

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