関根 誠 | 名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター

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概要

• 同名の論文著者
• 名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センターの論文著者

関連著者

• 関根 誠

  名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター

• 関根 誠

  名古屋大学

• 堀 勝

  名古屋大学

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター

著作論文

• 2. プラズマエッチング装置技術開発の経緯,課題と展望(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
• 5.低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング(ドライエッチングの科学と技術の新局面)
• 技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)プラズマ技術研究室

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