2. プラズマエッチング装置技術開発の経緯,課題と展望(<小特集>材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
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概要
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半導体デバイス製造におけるプラズマッチング技術について,その発展の経緯を技術自体の基本的な要素を踏まえて概説する.また,現在使用されているフルオロカーボンプラズマを使った装置やプロセス技術の課題をあげ,今後の開発のポイントを考察する.
- 2007-04-25
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