低インダクタンス内部アンテナを用いたプラズマ源の開発と反応性プラズマプロセスへの展開 (小特集 実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新--平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ)

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概要

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著者

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

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