節原 裕一 | 阪大接合研
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
-
節原 裕一
阪大接合研
-
熊谷 正夫
神奈川高度技術支援財団
-
鈴木 操
神奈川高度技術支援財団
-
三宅 正司
阪大接合研
-
鈴木 常生
阪大接合研
-
熊谷 正夫
神奈川産技セ
-
Tanaka Yris
阪大接合研
-
熊谷 正夫
神奈川産総研
-
竹中 弘祐
阪大接合研
-
江部 明憲
(株)イー・エム・ディー
-
竹中 弘祐
大阪大学接合科学研究所
著作論文
- 327 イオンビーム支援蒸着法によるc-BN薄膜の合成
- 326 c-BN薄膜合成におけるイオンビームを用いた界面制御
- 21406 マルチアンテナ型RFプラズマによるメートル級大面積での低ダメージプロセスと制御(基調講演,デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)