高野 弘道 | 神奈川高度技術支援財団
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概要
関連著者
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高野 弘道
神奈川高度技術支援財団
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高野 弘道
神奈川高速技術支援財団
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横田 勝弘
関西大学工学部電子工学科
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神奈川高度技術支援財団
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酒井 滋樹
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高木 俊宜
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関西大学工学部
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寺田 耕一郎
関西大・工
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高木 俊宣
イオン工学センター
著作論文
- シリコンへのリンとボロンの同時注入によるリンの拡散の抑制
- 水素ECRプラズマ処理による砒素注入されたシリコンの浅いN形層の形成
- 水素稀釈したジボランイオンシャワー注入されたシリコン中の欠陥分布
- シリコンへのジボランイオン注入における水素分子イオンのボロン分布への影響
- ジボランイオン注入によってシリコンに添加されたボロンの活性化