チタン陰極アークプラズマイオン注入・堆積法による窒化チタン成膜における成膜圧力の影響
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概要
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- 2002-03-14
著者
-
木幡 護
東芝タンガロイ
-
齋藤 英純
神奈川高度技術支援財団
-
斎藤 英純
神奈川高度技術支援財団
-
行村 建
同志社大工
-
馬 欣新
ハルピン工業大学
-
馬 欣新
同志社大学
-
熊谷 正夫
神奈川産技セ
-
丸山 敏朗
京都大学
-
熊谷 正夫
神奈川産総研
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
同志社大・工
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