24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2004-11-20
著者
-
大津 康徳
佐賀大学
-
秋山 守人
産総研九州センター
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
日野 譲
佐賀大理工
-
三沢 達也
佐賀大理工
-
行村 建
同志社大工
-
Fujita Hisanori
Institute Of Laser Engineering Osaka University
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
-
三沢 達也
佐賀大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
Fujita H
Limms/cnrs-iis The University Of Tokyo Crest/jst
-
Fujita Hiroyuki
Inst. Of Industrial Sci. The Univ. Of Tokyo
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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