窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ
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概要
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- 計測自動制御学会の論文
- 2002-05-31
著者
-
上野 直広
(独)産業技術総合研究所生産計測技術研究センター
-
上野 直広
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター 生産計測技術研究センター プロセス計測チーム
-
上野 直広
産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ
-
池田 喜一
産業技術総合研究所
-
立山 博
産業技術総合研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
-
秋山 守人
産総研九州センター
-
立山 博
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
-
池田 喜一
広島県立東部工業技術センター
-
秋山 守人
産業技術総合研
-
上野 直広
産業技術総合研
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
-
池田 喜一
産業技術総合研
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