シリコン基板上に成膜した窒化アルミニウムの圧電定数の温度依存性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We report for the first time the temperature dependence of the piezoelectric coefficient d33 of the aluminum nitride (AlN) film measured at temperatures up to 300 °C. A highly c-axis oriented AlN film was successfully deposited on a polycrystalline silicon / silicon dioxide / silicon wafer by a reactive sputtering technique to form a piezoelectric uni-morph actuator. A scanning laser Doppler vibrometer was used to measure the picometer level displacement of the actuator at 20 kHz at different temperatures. The piezoelectric coefficient d33 has a constant value of 5 pC/N at temperatures ranging between 20 °C and 300 °C.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-04-01
著者
-
川原 伸章
(株)デンソー 基礎研究所
-
上野 直広
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
竹内 幸裕
(株)デンソー 基礎研究所
-
川原 伸章
デンソー
-
荒川 和樹
(株)デンソー 基礎研究所
-
加納 一彦
(株)デンソー 基礎研究所
-
秋山 守人
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
蒲原 敏浩
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
秋山 守人
産総研九州センター
-
加納 一彦
株式会社デンソー基礎研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
-
川原 伸章
(株)デンソー基礎研究所
-
竹内 幸裕
(株)デンソー
-
荒川 和樹
名古屋工業大学大学院工学研究科:株式会社デンソー基礎研究所
-
加納 一彦
(株)デンソー
関連論文
- ユビキタスエコー装置における組織境界の高速鮮鋭化(画像処理・表示,医用画像論文)
- 骨伝導音による音声認識の検討
- シリコンのDRIEにおける大小開口混在パターン一括加工技術の開発
- 超小型レーザスキャニングモジュールにおける高精度実装
- 超臨界流体を用いたSiO_2製膜の開発
- 配向性窒化アルミニウム薄膜を用いた燃焼圧センサ
- インコネル基板上に作製した配向性ZnO薄膜を用いた燃焼圧センサ
- インコネル基板上に作製した配向性AIN薄膜を用いた燃焼圧センサ
- シリコン基板上に作製した配向性AIN薄膜の広帯域及び高温における圧電応答性
- インコネル基板上に作製した配向性AIN薄膜の高圧応答性と高温耐久性
- インコネル基板上に作製した配向性AIN薄膜の高温高圧応答性
- AlN薄膜圧力センサーの電気モデルによる基本特性の解析
- シリコン基板上に作製した配向性AIN薄膜の圧力応答性
- マイクロマシンに対するエネルギー供給システム
- シリコン基板上に成膜した窒化アルミニウムの圧電定数の温度依存性
- 高配向性窒化アルミニウム薄膜の作製とその応用 : セラミックスの皮膚
- 窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ
- BS-9-7 強結合共鳴を用いた三次元空間における無線エネルギー伝送のデモンストレーション(BS-9.バッテリレス社会を目指した無線送電技術-ユビキタス電源からSPSヘ-,シンポジウムセッション)
- ブリッジ型マイクロヒータの放熱量測定
- ポリシリコン下部配線を有したSOI構造の静電容量型センサ
- ブリッジ型マイクロヒータの放熱分析
- 可変焦点レンズを用いた長焦点深度視覚機構
- 可動ゲートトランジスタ型加速度センサ
- 特別講演 "アダプトロニクス",ヨーロッパの新しい潮流 (第25回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合)
- 窒化アルミニウム薄膜を用いた高耐熱AEセンサの研究 (第21回センシングフォーラム 資料--センシング技術の新たな展開と融合) -- (セッション1B1 非破壊センシング)
- 二周波プラズマスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜の高速合成 : アルミニウム薄膜高速化
- 24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 1J24 実験計画法による Ca_2Al_2SiO_7 : Ce のメカのルミネッセンス強度の向上
- プラント 高温設備診断のための圧電型耐熱AEセンサ
- 800℃で動作可能な耐熱AEセンサの開発 (特集 エレクトロヒートシステムの先端技術)
- 実時間マイクロVRカメラの試作
- 深堀ドライエッチングによる微細部品形成
- 新規DRIE法によるSi高アスペクト比エッチングと側壁平坦化技術
- O_2 プラズマ照射による側壁保護膜を付加した新規なDRIE
- 新D-RIE加工の形状評価と側壁の平坦性向上
- 高アスペクト比櫛歯構造におけるダンピング解析
- 新しいD-RIEプロセスにおけるSi/SiO2マスクエッチング選択比の向上 (特集 部品加工技術:より高く・より広く・より深く・より速く)
- 二重側壁保護膜を用いた新しいディープRIE技術の開発 (特集 マイクロマシンルネサンス)
- SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- C-3-72 SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- ブリッジ型マイクロヒータの放熱分析 (特集 マイクロマシンルネサンス)
- c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
- ウインドシールドディスプレイによる安全で快適な画像情報呈示
- 「ウインドシールドディスプレイ」による安全で快適な画像情報呈示
- 株式会社デンソー 基礎研究所
- 3P-24 c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードおける巨大圧電性(ポスターセッション)
- 高耐熱AEセンサの開発
- 無線マイクロマシンにおける小型低消費電力システム制御回路
- 可変焦点レンズを用いたディジタル全焦点顕微システム
- 可変焦点レンズを用いたデジタル全焦点顕微システム (特集 マイクロマシンルネサンス)
- JPSを用いた樹脂埋込み型の積層実装
- JPSを用いた樹脂埋込型の積層実装
- JPSを用いた樹脂埋込型の積層実装
- マイクロ波エネルギー伝送を用いた自律移動可能なマイクロロボット
- マイクロ波エネルギー伝送を用いた自律移動可能なマイクロロボット (特集 マイクロマシンルネサンス)
- ワイヤレスエネルギー供給で移動可能な世界最小のマイクロマシン
- 可変焦点レンズを用いた長焦点深度視覚機構
- 圧電アクチュエーターを用いた可変焦点レンズ
- 可変焦点レンズを用いた長焦点深度視覚機構
- 圧電マイクロアクチュエ-タとその応用 (特集 超微細加工:マイクロセンサ・マイクロマシンの最前線)
- シリコン高周波ICのための厚膜酸化層形成プロセス
- 管内自走環境認識システム
- B-1-6 小型レクテナの製作と偏波方式の検討
- B-1-24 マイクロ波エネルギー伝送技術を用いた配管内自律移動ロボットの開発
- 自動車用MEMSセンサ
- 16th IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Conference MEMS2003報告
- (株)デンソー基礎研究所
- マイクロカーが走る(創立100周年記念ミクロの世界)
- ワイヤレス管内マイクロマシンの開発 (特集 マイクロマシンルネサンス)
- シリコンドライエッチング技術の発展史
- 大口径面発光レーザの注入電流均一化による高出力化(レーザ・量子エレクトロニクス)
- TRANSDUCERS'07 The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 報告
- 29aA05P エネルギーの異なるプラズマイオン交互注入による炭素系硬質薄膜合成(プラズマ応用)
- 圧電体薄膜を用いた圧力センサーの開発 : 量産車用燃焼圧センサーへの応用
- 02aB11P 負極性パルス高電圧バイアス型高周波プラズマCVDによる機能性ダイヤモンド状薄膜合成(プラズマ応用)
- 赤外線吸収式マルチガスセンサ : 超広帯域なファブリペロー分光器の開発
- 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
- 自動車用加速度センサ(身の回りのマイクロ・ナノ技術)
- ScAlN/単結晶ダイヤモンド構造を用いたSHF帯広帯域SAWデバイス(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)