二重側壁保護膜を用いた新しいディープRIE技術の開発 (特集 マイクロマシンルネサンス)

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概要

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著者

• 大原 淳士

  (株)デンソー 基礎研究所

• 竹内 幸裕

  (株)デンソー 基礎研究所

• 加納 一彦

  (株)デンソー 基礎研究所

• 加納 一彦

  株式会社デンソー基礎研究所

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