c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
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概要
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c軸が19°傾斜配向したScAIN多結晶膜を作製し,擬似すべりモードの圧電性を評価した結果,電気機械結合係数k_<15>'=0.36とウルツ鉱としては極端に大きな圧電性を発現することがわかった.3次元的な薄膜の配向性は極点X線回折法により定量的に評価した.薄膜の擬似厚み縦モードおよび擬似すべりモードの電気機械結合係数k_<33>'およびk_<15>'は,複合共振子構造(上部電極/圧電膜/下部電極/基板構造)のUHF帯おける変換損失を測定し,理論変換損失と比較することで決定した.さらに600℃の高温域のk値について,現状のウルツ鉱で最も大きな圧電性を持つc軸傾斜配向ZnO膜と比較した結果,ZnO膜では導電性の影響により圧電性が見かけ上減少するのに対して,ScAIN膜では圧電性を維持した.このことから,高温域における液体を測定するすべりモードFBARセンサやSH-SAWセンサへの応用が期待される.
- 2010-09-22
著者
-
柳谷 隆彦
名古屋工業大学
-
荒川 和樹
(株)デンソー 基礎研究所
-
加納 一彦
(株)デンソー 基礎研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
-
秋山 守人
産総研九州センター
-
加納 一彦
株式会社デンソー基礎研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研
-
勅使河原 明彦
株式会社デンソー
-
荒川 和樹
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
鈴木 雅視
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
勅使河原 明彦
株式会社デンソー基礎研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
-
柳谷 隆彦
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
荒川 和樹
名古屋工業大学大学院工学研究科:株式会社デンソー基礎研究所
-
鈴木 雅視
名古屋工業大学
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