高配向性窒化アルミニウム薄膜の作製とその応用 : セラミックスの皮膚
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 2004-09-01
著者
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上野 直広
独立行政法人 産業技術総合研究所
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秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター 生産計測技術研究センター プロセス計測チーム
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上野 直広
産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ
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秋山 守人
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
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秋山 守人
産総研九州センター
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秋山 守人
産業技術総合研
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上野 直広
産業技術総合研
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秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
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