上野 直広 | 産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ

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概要

• 同名の論文著者
• 産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボの論文著者

関連著者

• 上野 直広

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所九州センター 生産計測技術研究センター プロセス計測チーム

• 上野 直広

  産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所基礎素材研究部門

• 秋山 守人

  産総研九州センター

• 秋山 守人

  産業技術総合研

• 上野 直広

  産業技術総合研

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所九州センター

• 上野 直広

  (独)産業技術総合研究所生産計測技術研究センター

• 大石 康宣

  (独)産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 岸 和司

  (独)産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 大石 康宣

  産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 岸 和司

  産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 野間 弘昭

  産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ

• 蒲原 敏浩

  産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ

• 蒲原 敏浩

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 池田 喜一

  産業技術総合研究所

• 立山 博

  産業技術総合研究所

• 立山 博

  産業技術総合研究所基礎素材研究部門

• 池田 喜一

  広島県立東部工業技術センター

• 野間 弘昭

  産業技術総合研究所基礎素材研究部門

• 野間 弘昭

  産業技術総合研究所

• 池田 喜一

  産業技術総合研

• 蒲原 敏浩

  産業技術総合研究所

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著作論文

• シリコン基板上に作製した配向性AIN薄膜の圧力応答性
• 高配向性窒化アルミニウム薄膜の作製とその応用 : セラミックスの皮膚
• 窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ

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