多機能をもつ高配向性窒化アルミニウム薄膜の作製 (特集 実用化が期待される産官共同の材料技術開発)
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概要
著者
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秋山 守人
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
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野中 一洋
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
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秋山 守人
九州工業技術研究所
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野中 一洋
九州工業技術研究所
-
徐 超男
九州大学総合理工学府 物質理工学専攻
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