インコネル基板上に作製した配向性ZnO薄膜を用いた燃焼圧センサ

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概要

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• C-axis-oriented zinc oxide (ZnO) thin films were prepared on Inconel substrates by rf magnetron sputtering technique. The ZnO film characteristics were evaluated under pressures of 10.0 to 300.0 MPa and frequencies of 0.1 to 30 Hz at room temperature. The deviation from the linearity of charges with pressures for the ZnO films was within 0.52 % of a full scale at 300.0 MPa, which indicated a good linearity between 10.0 and 300.0 MPa. Furthermore the ZnO films were evaluated under combustion pressure in a single-piston 90 cc engine rotating at 1900 rpm. The waveform of the ZnO films was similar to those of a commercial sensor. It is demonstrated that the ZnO films have a good possibility as combustion pressure sensor elements.

• 社団法人 電気学会の論文
• 2008-12-01

著者

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所九州センター 生産計測技術研究センター プロセス計測チーム

• 大石 康宣

  (独)産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 岸 和司

  (独)産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 大石 康宣

  産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 岸 和司

  産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 諸藤 ゆかり

  産業技術総合研究所 生産計測技術研究センター

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所基礎素材研究部門

• 秋山 守人

  産総研九州センター

• 秋山 守人

  産業技術総合研

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所九州センター

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