MoSi_2基板上に作製したAlN薄膜の多機能性 : セラミックスの皮膚

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概要

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• Highly oriented AlN thin films were prepared on polycrystalline MoSi_2 substrates by rf magnetron sputtering. The films responded to mechanical impact and produced voltage. The maximum produced voltage increased almost linearly with the impact intensity. Furthermore, the capacitance of the films increased almost linearly with applied pressure, indicating that the films can measure the pressure. The films responded to thermal shock. These results suggested that the films possessed various functions like human skin.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1995-09-01

著者

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所基礎素材研究部門

• 野中 一洋

  産業技術総合研究所基礎素材研究部門

• 秋山 守人

  九州工業技術研究所

• 野中 一洋

  九州工業技術研究所

• 菖蒲 一久

  九州工業技術研究所

• 渡辺 忠彦

  九州工業技術研究所

• 渡辺 忠彦

  九州工業技術研究所無機複合材料部:(現)佐賀県工業技術センター

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