柳谷 隆彦 | 名古屋工業大学大学院工学研究科

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著作論文

• c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
• 3P-26 イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法によるAlN薄膜の面内面外配向制御(ポスターセッション)
• 3P-24 c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードおける巨大圧電性(ポスターセッション)
• IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用 (超音波)
• 3P3-3 高角度傾斜配向AlN膜の作製と圧電特性(ポスターセッション)
• IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
• 2Pa3-7 IBAD法によるc軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子(ポスターセッション)
• 超音波デバイス c軸平行配向AIN薄膜を用いた極性反転すべり共振子

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