菅沼 信広 | 名古屋工業大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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柳谷 隆彦
名古屋工業大学
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菅沼 信広
名古屋工業大学大学院工学研究科
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鈴木 雅視
名古屋工業大学大学院工学研究科
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柳谷 隆彦
名古屋工業大学大学院工学研究科
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鈴木 雅視
名古屋工業大学
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鈴木 雅児
名古屋工業大学
著作論文
- 2Pa3-8 Sc粒のスパッタにより作製したScAlN薄膜の電気機械結合係数(ポスターセッション)
- IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
- 2Pa3-7 IBAD法によるc軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子(ポスターセッション)