c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数
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概要
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横波型弾性表面波(SH型SAW)は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため,液体の導電率や粘性を測定できる.c軸が基板面に対して一方向かつ平行に配向したc軸平行配向ZnO膜を用いれば任意の基板上にSH型SAWセンサを作製できる可能性がある.なお,理論解析より,IDT/ZnO膜(0°,90°,ψ)/石英基板構造において,ψ=55°,H/λ=0.21のときに電気機械結合係数(K^2)が最大3.4%となることがわかっている.本報告では,同構造のデバイスを作製し,ψ=0°-90°と変化させた際のK^2を評価した.また,液体中でのSH型SAW励振実験を行った.
- 2011-09-19
著者
-
松川 真美
同志社大学
-
柳谷 隆彦
名古屋工業大学
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学部:同志社大学熱音響技術研究センター
-
松川 真美
同志社大学工学研究科
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学研究科
-
渡辺 好章
同志社大学
-
中東 佑太
同志社大学工学部
-
松川 真美
同志社大理工
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