圧電・超音波材料 RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御
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概要
著者
-
松川 真美
同志社大学
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学部:同志社大学熱音響技術研究センター
-
松川 真美
同志社大学工学研究科
-
高柳 真司
同志社大学
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学研究科
-
松川 真美
同志社大理工
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