c軸傾斜配向ZnO膜の作製および電気機械結合係数
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
電界方向に対してc軸が約27°傾斜したZnO膜は擬似すべりモードにおいて高い電気機械結合係数(κ'_<15>=0.38)を持つ可能性がある.本報告では,c軸が基板面に対して傾斜した膜を用いて薄膜トランスデューサを作製し,膜の電気機械結合係数を評価した.成膜にはRFマグネトロンスパッタ装置を用い,配向性の評価は極点X線回折法により行った.κ'_<15>はトランスデューサの変換損失から見積もった.その結果,基板面法線に対してc軸が約26°傾斜したZnO膜において,κ'_<15>=0.26と見積もられた.次に,互いにc軸の傾斜方向が反転した二層のZnO膜を用いて,同一の共振周波数において縦波と横波を同時に励振するトランスデューサの作製を試みた.これにより,薄膜トランスデューサは一次の縦波モードと二次のすべりモードで共振し,同一の周波数において縦波と横波を励振した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-09-14
著者
関連論文
- 熱音響技術の環境システムへの応用に向けて(環境問題と音響技術)
- ループ管方式熱音響冷却システムの実用化に向けた検討--管の断面積が管内音場に与える影響 (応用音響)
- 熱音響現象を利用したサイレンサーに関する基礎研究--多段スタック方式による消音効率向上への試み (応用音響)
- ループ管方式熱音響冷却システムの実用化に向けた検討 : Phase Adjusterによるループ管内の音場制御に関する考察
- 熱音響冷却システムの小型化に関する検討 : 強制駆動によるヒートポンプ効果についての考察
- ループ管方式熱音響冷却システムの実用化に向けた検討 : Phase Adjusterによるループ管内の音場制御に関する考察
- 熱音響冷却システムの小型化に関する検討 : 強制駆動によるヒートポンプ効果についての考察
- コウモリの空中音響センシング技術 : マイクロホンアレイシステムによる飛行行動とエコーロケーション方向の同時計測(アコースティックイメージング,一般)
- 超音波による医療画像計測 (特集 先進超音波計測--音でみる(見る,視る,観る,診る,鑑る,看る))
- 「考える」こと : 創造とプロデュース(音叉)
- コウモリのエコーロケーション高度情報収集システムにおける耳介運動の検討
- エコーロケーション時におけるコウモリのはばたきとパルス放射タイミングの関係 : 生物ソナーにおける効率的なナビゲーション制御に関する検討
- テレメトリを用いた飛行中CF-FMコウモリのパルス-エコーの計測 : パルスとエコーの重畳関係の検討
- コウモリのエコーロケーション時におけるスキャンニング手法 : 飛行行動とパルス放射方向の同時観測による検討(水中音響)
- CF-FMコウモリの耳介の動きに基づいた音源定位モデル
- 生物ソナー : コウモリの周囲環境情報収集システム
- コウモリの生物ソナーシステム
- 標的接近時におけるコウモリの認知精度距離の変化
- テラソカグラコウモリの生物ソナーシステムについて : エコーロケーション行動の動態観測(水中音響)
- テラソカグラコウモリのエコーロケーション機能の動態観測 : ドップラーシフト補償に関する検討
- 1P4-19 熱音響効果を用いた新しい消音システムについて(ポスターセッション)
- 太陽エネルギーを利用した熱音響冷却システムに関する検討 : ループ管の実用化に向けた研究
- 太陽熱エネルギーを利用した熱音響冷却システムの基礎検討
- 超音波で駆動されるマイクロカプセルの振動挙動と音響放射信号に関する検討
- 829 三次元空間を認識するための超音波センサに関する研究
- 3P7b-20 体内音場解析のための"ディジタル人体弾性モデル"実現に向けて(ポスターセッション)
- (112^^-0)ZnO膜/石英基板 構造のSH型SAW伝搬特性
- c軸傾斜配向ZnO膜の作製および電気機械結合係数
- 超音波による医療画像計測
- 3P5-13 Counter-Crossed Beam Contrast Echo法による血流計測 : 超音波診断装置を用いたシステムの試作(ポスターセッション)
- Counter-Crossed Beam Contrast Echo法の基礎的検討 : 和音成分による流速の測定
- 二周波数超音波ビーム交差領域で生成される和音成分 : コントラストエコー法への応用
- 熱音響効果を用いた音響冷却現象の実験的検討
- 超音波駆動気泡が洗浄効果に与える影響 : 微小気泡挙動の光学的観測
- 超音波音場における壁面付着気泡の振る舞い : 気泡-壁面間相互作用に関する検討(非線形音響,一般)
- 超音波照射時における含気カプセル挙動の光学的観測 : シェルがカプセル振動に与える影響(物性,一般)
- 高速度カメラによる音響現象のイメージング : 超音波駆動気泡が見せる様々な振る舞い(音で見る,音を見る:アコースティックイメージングの現状)
- 超音波駆動された二気泡間に働くsecondary Bjerknes forceに関する実験的検討(非線形音響,一般)
- 超音波駆動時における壁面付着気泡の挙動に関する検討 : 壁面の違いによる影響(非線形・一般)
- 琵琶湖における音速プロファイルの検討 : 水温躍層と冬季の音速計測(水中音響)
- 熱音響技術の環境システムへの応用に向けて
- 3-09P-49 熱音響冷却システムにおいてスタックの熱源接触部に銅メッシュを設置した際の効果(ポスターセッション 3)
- OS11-4 熱音響冷却システムにおけるエネルギー変換効率の向上を目指して : スタックの熱源との接触部に熱伝導率の大きい素材を設置した際のエネルギー変換特性(OS11 廃熱利用技術,循環型社会における動力エネルギー技術)
- 熱音響冷却システムにおけるエネルギー変換について : スタック内の熱流量が音響インテンシティに与える影響(強力超音波)
- パラメトリックマイクロホン (マイクロホンアレー)
- 音波の非線形相互作用の角度依存性に着目した媒質の非線形パラメータB/Aの測定法
- A-5 音波の非線形相互作用を用いた音圧・粒子速度プローブ(超音波計測)
- パラメトリックアレーの応用 (非線形波動の計測工学への応用)
- 波形歪現象からみた仮想音源生成機構の検討
- D-17 2つの音波交差時における非線形相互作用を生じない交差角度の測定(ポスターセッション)
- C-1 パラメトリック受波アレーを用いた指向性マイクロホンの実現(超音波の発生・検出)
- コウモリの周囲環境センシング手法の工学的応用へ向けた検討 : 障害物回避時における超音波ビーム方向と飛行方向の関係(アコースティックイメージング,一般)
- 時間領域差分法による頭部内の音波伝搬解析
- 骨導超音波の頭部内音場解析(超音波医用論文)
- 骨導超音波聴覚の検討
- 骨導超音波聴覚の検討
- 超音波照射がゲル内溶存分子の拡散に与える影響 : FRAP及びMRIによる検討(物性,一般)
- 超音波照射が細胞に与える影響 : 定在波音場を用いた検討(医用超音波)
- 超音波駆動された単一マイクロカプセルの振動変位の測定(非線形音響,一般)
- 127 低容量医用超音波が培養骨芽細胞の初期応答に及ぼす効果に関する研究(OS5-5,オーガナイズドセッション5:マイクロ・ナノバイオメカニクス,学術講演)
- 水中設置物探査におけるSub-harmonic Imagingの有効性に関する研究
- 超音波で駆動される気泡から放射される音波について
- 熱音響冷却システムの実用化に向けた研究 : 太陽エネルギーを利用した新しい冷却システム構築への試み
- ループ管方式熱音響冷却システムの実用化に向けた検討 : 管の断面積が管内音場に与える影響(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- 熱の影響による音圧変化を考慮した時間領域有限差分法シミュレーション : 温度勾配のある細流路を通過する音波について
- 第1部-分野別の流れ- 超音波分野
- 気泡に超音波を照射すると何が起こる?
- DDSへの応用を目的とした超音波照射下におけるマイクロカプセルの破壊実験に関する検討
- 超音波照射下において周辺気泡がマイクロカプセルに与える影響
- 定在波音場中のマイクロカプセルの挙動観測
- 定住波音場中のマイクロカプセルの挙動観測
- ポアンカレマップによる分調波生成条件の検出とマイクロカプセルを用いたサブハーモニックイメージング(超音波医用論文)
- 熱音響現象を利用したサイレンサーに関する基礎研究 : 多段スタック方式による消音効率向上への試み(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- 熱音響冷却システムの実用化に向けた研究 : 熱源近傍において管の形状及び材質による熱漏洩が変換効率に及ぼす影響(強力超音波)
- 大規模サーボコントロールシステムの協調制御 : 多方向造波装置
- スタック特性が熱音響冷却システムに及ぼす影響について(強力超音波)
- 熱音響ループ管冷却システムの管長と形状が冷却特性に与える影響
- C03 熱音響冷却システムにおけるスタックの長さに関する基礎研究(パルス管冷凍機,熱音響機器及び関連要素と応用システム(1))
- 熱音響冷却システムの共鳴周波数について(一般・材料)
- 3P5-25 血管の粘弾性評価を目的とした簡便な脈波解析法の検討 : 平均的な血流速度波形と年齢(ポスターセッション)
- 3P3-13 c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用(ポスターセッション)
- 3P3-2 直線状***ージョンマグネトロンスパッタを用いた(112^^-0)配向ZnO圧電膜の結晶性(ポスターセッション)
- 2P5-13 血管の粘弾性的性質と脈波波形に関する実験的検討(ポスターセッション)
- 1P6-4 琵琶湖における水質環境の音響モニタリング(ポスターセッション)
- 3次元弾性FDTD法による海綿骨中の音波伝搬シミュレーション
- X線CTによる海綿骨のモデリングと音波伝搬シミュレーション(医用超音波・アコースティックイメージング)
- 海綿骨中の音波伝搬シミュレーションの試み
- FDTD法による音波伝搬のシミュレーション : 固体と液体が共存する音場において
- 単泡性ソノルミネッセンスにおける気泡挙動と音波の放射
- 超音波骨導ヘッドホンより生成される可聴音の周波数特性と可聴音伝搬経路の検討(電気音響,音響一般)
- 時間領域差分法による頭蓋内の音波伝搬解析
- 単泡性ソノルミネッセンスの気泡圧壊時における気泡挙動と衝撃波発生
- 単泡性ソノルミネッセンスの気泡圧壊時における気泡挙動と衝撃波発生
- 超高速列車走行時に生成されるトンネル内衝撃波の消音に関する検討
- 屈曲波の共振を利用した地下埋設管と土砂の接触状況の評価
- 牛の海綿骨を満たす流体の粘性が音波伝搬に及ぼす影響
- 屈曲波の共振を利用した地下埋設管と土砂の接触状況の評価
- 牛の海綿骨を満たす流体の粘性が音波伝搬に及ぼす影響
- 超音波ヘッドホンにおける耳珠軟骨組織の音響的非線形性の影響(一般及び非線形音響)
- A-4 耳介軟骨における変調超音波に対する非線形作用(基礎・物性,口頭発表)