3P3-2 直線状***ージョンマグネトロンスパッタを用いた(112^^-0)配向ZnO圧電膜の結晶性(ポスターセッション)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2009-11-18
著者
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学部
-
松川 真美
同志社大学
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学部:同志社大学熱音響技術研究センター
-
松川 真美
同志社大・工
-
松川 真美
同志社大学工学研究科
-
佐々木 昌
オムロン株式会社技術本部
-
佐々木 昌
オムロン(株)先端デバイス研究所
-
佐々木 昌
オムロン株式会社 中央研究所
-
森 嘉一
オムロン株式会社技術本部
-
柳谷 隆彦
名工大
-
大場 正利
オムロン株式会社技術本部
-
大場 正利
オムロン(株)セミコンダクタ事業部マイクロレンズ開発部
-
川本 貴之
同志社大
-
松川 真美
同志社大 工
-
渡辺 好章
同志社大 工学部
-
川本 貴之
同志社大学生命医科学研究科:オムロン株式会社技術本部
-
渡辺 好章
同志社大学生命医科学研究科
-
松川 真美
同志社大
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