面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用
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概要
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我々の研究グループは, これまでRFマグネトロンスパッタ法により微結晶c軸が基板面内で一方向に揃った多結晶ZnO膜を作製した.本報告では, この膜の配向性とすべりモード電気機械結合係数k_<15>の関係を明らかにした.k_<15>の測定は膜厚傾斜のあるMasonの等価回路モデルをもとにCu膜/面内配向ZnO膜/Cu膜/パイレックス基板構造の複合共振器の横波変換損失を計算して行った.膜の配向性は(101^^-0), (112^^-0)面のロッキングカーブ半値幅で評価した.例えば(101^^-0), (112^^-0)面の半値幅が各々5.8°, 6.7°の膜においてk_<15>=0.18と推定された.全体的にロッキングカーブ半値幅とk_<15>は線形的な相関関係を示した.次に, この膜を用いて横波モードのFBARを作製した.FBARでは横波による共振が観測され, 共振周波数は240MHz, 実効的電気機械結合係数k^2_<eff>=4.1%であった.
- 2005-09-22
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