レーザ誘起表面波の伝搬過程の測定と解析
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概要
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ラインフォーカスしたパルスレーザを円柱表面に照射し, 熱弾性効果によって発生した弾性波の測定を行った.P(VDF-TrFE)センサを用いて受波し, 波の伝搬する表面の粗さ, 表面の接触物の影響によるレイリー波の減衰量を調べた.P(VDF-TrFE)センサを受波に使用することで比較的安価に簡便にリアルタイムに波の変化が測定できることを示し, プロセスモニタリングヘの可能性を指摘した.
- 2002-01-17
著者
-
松川 真美
同志社大学
-
大谷 隆彦
同志社大学工学部
-
徳田 啓一
同志社大・工
-
谷利 陽子
同志社大学工学部
-
大谷 隆彦
同志社大学工学部電機工学科
-
渡辺 好章
同志社大学
-
徳田 啓一
同志社大学工学部
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