1Ja3-4 c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御(圧電デバイス)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2012-11-13
著者
-
松川 真美
同志社大学
-
松川 真美
同志社大学工学研究科
-
鈴木 雅視
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
高柳 真司
同志社大学
-
柳谷 隆彦
名工大
-
松川 真美
同志社大学超音波エレクトロニクス・応用計測研究室
-
鈴木 雅視
名工大機械
-
小田川 裕之
熊本高専
-
松川 真美
同志社大
-
松川 真美
同志社大学理工学部
-
松川 真美
同志社大理工
-
高柳 真司
同志社大
-
生駒 遼
同志社大
-
鈴木 雅視
名工大
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