超小型レーザスキャニングモジュールにおける高精度実装
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We report that an ultra-small laser scanning module of millimeter size was realized. This laser scanning module consists of silicon substrate, a laser diode array with multi-emitter, and microprisms. The microprism measures 180μm wide, 100μm high, and 80μm thick. The smaller the optical elements used, the more precise the alignment accuracy required. The microprisms and alignment pins for laser diode array are fabricated on the same silicon substrate using MEMS technology. Then the laser diode array is attached to the silicon substrate by setting with the alignment pins. The alignment accuracy was ±2.8μm for the interval between the laser diode array and microprisms. The rotational angle accuracy of each axis was within ±0.3 degrees. This high alignment accuracy has been achieved without camera.
- 2009-12-01
著者
-
川原 伸章
(株)デンソー 基礎研究所
-
大原 淳士
(株)デンソー 基礎研究所
-
竹内 幸裕
(株)デンソー 基礎研究所
-
吉原 晋二
(株)デンソー 基礎研究所
-
安部 克則
(株)デンソー 基礎研究所
-
川原 伸章
デンソー
-
川原 伸章
(株)デンソー基礎研究所
-
竹内 幸裕
(株)デンソー
関連論文
- 骨伝導音による音声認識の検討
- シリコンのDRIEにおける大小開口混在パターン一括加工技術の開発
- 超小型レーザスキャニングモジュールにおける高精度実装
- 超臨界流体を用いたSiO_2製膜の開発
- マイクロマシンに対するエネルギー供給システム
- シリコン基板上に成膜した窒化アルミニウムの圧電定数の温度依存性
- ブリッジ型マイクロヒータの放熱量測定
- ポリシリコン下部配線を有したSOI構造の静電容量型センサ
- ブリッジ型マイクロヒータの放熱分析
- 可変焦点レンズを用いた長焦点深度視覚機構