竹内 幸裕 | (株)デンソー

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概要

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関連著者

• 竹内 幸裕

  (株)デンソー

• 竹内 幸裕

  (株)デンソー 基礎研究所

• 大原 淳士

  (株)デンソー 基礎研究所

• 加納 一彦

  (株)デンソー 基礎研究所

• 加納 一彦

  株式会社デンソー基礎研究所

• 加納 一彦

  (株)デンソー

• 川原 伸章

  (株)デンソー 基礎研究所

• 川原 伸章

  デンソー

• 和戸 弘幸

  株式会社デンソー基礎研究所

• 川原 伸章

  (株)デンソー基礎研究所

• 和戸 弘幸

  (株)デンソー 基礎研究所

• 竹内 幸裕

  (株)デンソー エレクトロニクス研究部

• 和戸 弘幸

  (株)デンソー エレクトロニクス研究部

• 佐藤 一雄

  名古屋大学大学院工学研究科

• 田畑 修

  京都大学 工学研究科

• 佐藤 一雄

  名古屋大学

• 田畑 修

  立命館大学 理工学部 機械工学科

• 上野 直広

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 土屋 智由

  (株)豊田中央研究所

• 吉原 晋二

  (株)デンソー 基礎研究所

• 安部 克則

  (株)デンソー 基礎研究所

• 田畑 修

  京都大学大学院 工学研究科

• 土屋 智由

  京都大学大学院

• 荒川 和樹

  (株)デンソー 基礎研究所

• 秋山 守人

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 蒲原 敏浩

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 秋山 守人

  産総研九州センター

• 岩城 隆雄

  東大物性研

• 田畑 修

  京都大学 大学院 工学研究科

• 田畑 修

  立命館大学理工学部機械工学科

• 岩城 隆雄

  (株)デンソー 基礎研究所

• 種村 友貴

  京都大学大学院 工学研究科

• 佐藤 一雄

  (株)日立製作所

• 山下 秀一

  (株)デンソー

• 秋山 守人

  産業技術総合研究所九州センター

• 土屋 智由

  京都大学 工学研究科

• 竹内 幸裕

  デンソー 基礎研

• 小島 永児

  (株)デンソー基礎研究所

• 大竹 伸幸

  (株)デンソー基礎研究所

• 山田 仁

  (株)デンソー基礎研究所

• 荒川 和樹

  名古屋工業大学大学院工学研究科:株式会社デンソー基礎研究所

• 榎本 哲也

  (株)デンソー 基礎研究所

• 鈴木 愛美

  (株)デンソー 基礎研究所

• 山下 秀一

  (株)デンソー エレクトロニクス研究部

• 種村 友貴

  (株)デンソー エレクトロニクス研究部

• 竹内 幸裕

  (株)デンソー基礎研究所エレクトロニクス研究部半導体プロセス研究1室

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著作論文

• シリコンのDRIEにおける大小開口混在パターン一括加工技術の開発
• 超小型レーザスキャニングモジュールにおける高精度実装
• シリコン基板上に成膜した窒化アルミニウムの圧電定数の温度依存性
• 深堀ドライエッチングによる微細部品形成
• O_2 プラズマ照射による側壁保護膜を付加した新規なDRIE
• 株式会社デンソー 基礎研究所
• シリコンドライエッチング技術の発展史
• 大口径面発光レーザの注入電流均一化による高出力化(レーザ・量子エレクトロニクス)
• TRANSDUCERS'07 The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 報告
• 赤外線吸収式マルチガスセンサ : 超広帯域なファブリペロー分光器の開発
• 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
• 自動車用加速度センサ(身の回りのマイクロ・ナノ技術)

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